蘇州超低溫制冷設備、低于1K的溫度叫做超低溫。獲得這樣低的溫度,除人們所熟知的,通過對4He液浴減壓可達最低溫度約0.5K外，還有下列方法：利用3He液浴減壓最低溫度可達到 0.3K；利用硝酸鈰鎂(CMN)等順磁鹽進行絕熱去磁,可達到幾毫開溫區；利用3He-4He稀釋致冷機可達1.5mK，利用坡密朗丘克冷卻和絕熱核去磁可達到更低的溫度。

利用3He蒸發的低溫恒溫器是獲得1K以下溫度的最簡便的方法。3He的質量小,零點運動強烈,因此在所有的溫度下它的蒸氣壓比4He都要高。此外，因不存在3He膜,也就沒有沿著3He膜的傳熱或3He蒸發而產生的額外漏熱。所以在低溫端可以利用一粗管道對3He液浴減壓,獲得比利用4He液浴減壓所能達到的更低的溫度。3He的正常沸點是3.19K，通過減壓可達稍低于0.3K的溫度。

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