1、超聲掃描顯微鏡（SAM）是一種利用超聲波為傳播媒介的無(wú)損檢測(cè)成像設(shè)備。

2、利用高頻超聲波，對(duì)各類(lèi)半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測(cè)，能夠檢測(cè)出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。

3、在掃描過(guò)程中，不會(huì)對(duì)樣品造成損傷，不會(huì)影響樣品性能。

4、可滿(mǎn)足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、半導(dǎo)體、電器焊接件、碳纖維復(fù)合材料等產(chǎn)品質(zhì)控需求。

5、超聲波掃描顯微鏡檢測(cè)技術(shù)具有檢測(cè)速度快、對(duì)工件無(wú)損壞等特點(diǎn)，在醫(yī)療、石油、汽車(chē)、半導(dǎo)體，集成電路，新能源，5G，電力電子行業(yè)、軍事等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

6、利用超聲波對(duì)物體內(nèi)部進(jìn)行成像的無(wú)損檢測(cè)設(shè)備，相對(duì)于其他顯微技術(shù)，超聲波與被檢測(cè)物間的相互作用不同于光、電子束及X射線，這些不同的物理效應(yīng)決定了接收信號(hào)的特征，從而形成了顯微照片的對(duì)比度。

7、圖像處理技術(shù)可以保證用戶(hù)方便地進(jìn)行偽彩色顯示及對(duì)比度調(diào)節(jié)。 自動(dòng)掃描功能可以對(duì)樣品進(jìn)行全自動(dòng)的檢測(cè)，這使得即便沒(méi)有經(jīng)過(guò)特殊培訓(xùn)的人員也可以完成檢測(cè)任務(wù)。

8、通過(guò)發(fā)射高頻超聲波傳遞到樣品內(nèi)部，在經(jīng)過(guò)兩種不同材質(zhì)之間界面時(shí)，由于不同材質(zhì)的聲阻抗不同，對(duì)聲波的吸收和反射程度的不同，進(jìn)而采集的反射或者穿透的超聲波能量信息或者相位信息的變化來(lái)檢查樣品內(nèi)部出現(xiàn)的分層、裂縫或者空洞等缺陷。

9、聲學(xué)顯微成像的技術(shù)是諸多行業(yè)領(lǐng)域在各類(lèi)樣品中檢查和尋找瑕疵的重要手段，在檢查材料又要保持完整的樣品時(shí)，這項(xiàng)非破壞性檢測(cè)技術(shù)的優(yōu)勢(shì)尤為突出。

10、利用超聲波脈沖回波的性質(zhì)，激勵(lì)壓電換能器發(fā)射出多束超聲波通過(guò)耦合液介質(zhì)傳遞到被測(cè)樣品，聲波這種機(jī)械波傳遞過(guò)程類(lèi)似電磁波，在經(jīng)過(guò)不同介質(zhì)時(shí)會(huì)發(fā)生折射、反射等現(xiàn)象，通過(guò)聲阻抗不同的材料時(shí)會(huì)發(fā)生波形相位、能量上的變化等現(xiàn)象，經(jīng)過(guò)一系列數(shù)據(jù)采集計(jì)算形成灰度值圖片，可用來(lái)分析樣品內(nèi)部狀況。

11、作為無(wú)損檢測(cè)分析中的一種，它可以實(shí)現(xiàn)在不破壞物料電氣能和保持結(jié)構(gòu)完整性的前提下對(duì)物料進(jìn)行檢測(cè)。被廣泛的應(yīng)用在物料檢測(cè)(IQC)、失效分析(FA)、破壞性物理分析(DPA)、可靠性分析、元器件二次篩選、質(zhì)量控制(QC)、質(zhì)量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領(lǐng)域。

12、非破壞性、對(duì)樣品無(wú)損壞。分辨率高，可確定缺陷在樣品內(nèi)部的精確位置。

13、按接收信息模式可分為反射模式與透射模式。按掃描方式分可分為 C掃，B掃，X掃，Z掃，分焦距掃描，分頻率掃描等多種方式。